Принцип действия криогенных вакуумных насосов основан на конденсации газов при низких
температурах: на первой ступени при температуре 35-70 К конденсируются молекулы водяного
пара, на второй ступени при температуре 5-15 К
— азот, кислород и аргон. Гелий, водород и неон удерживаются за счет криоадсорбации в пористом
материале при давлении 10-3 - 10-9мбар!