Компания PTS использует различные типы водяных насосов и криогенных рефрижераторов. Насос можно применять в технологических камерах, камерах загрузочного шлюза и передаточных модулях.
Модель | Cryo PTS WP550 | |
---|---|---|
Стандартное время захолаживания | Вода | 18000 |
Стандартное время захолаживания | мин | 60 |
Масса | кг | 90 |
Варианты фланцев | ANSI ASA, вращающийся ANSI ASA, зажимной по ISO, фланец серии ConFlat, вращающийся фланец серии ConFlat, JIS |
Представленные крионасосы предназначены для откачки паров воды, которая составляет до 95% остаточного газа в вакуумной системе. Более высокая производительность за счет уменьшения присутствия паров и снижения уровня загрязнения, рабочее давление достигается на 50–75 % быстрее. Как правило, эти крионасосы применяются в сочетании с диффузионными, турбомолекулярными или другими криовакуумными насосами для увеличения скорости откачки при вакуумировании системы.
Имеется возможность выпуска нестандартного оборудования под индивидуальные размеры и технические параметры заказчика